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Article光譜共焦測(cè)量透明件的平整度和厚度
更新時(shí)間：2023-11-15 點(diǎn)擊次數(shù)：1540次
光譜共焦傳感器透明件的平整度和厚度可同時(shí)測(cè)量
光譜共焦傳感器特點(diǎn)
1、光譜共焦傳感器和傳統(tǒng)三角測(cè)距法比較
三角測(cè)距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光點(diǎn)位置變化來(lái)測(cè)量被測(cè)物的距離變化。雖然通過(guò)從感光波形計(jì)算出峰值或重心等特征量可減小誤差，但從原理上，材質(zhì)不同或?qū)ο笪飪A斜會(huì)導(dǎo)致感光波形出現(xiàn)位置偏差或波形混亂，從而產(chǎn)生測(cè)量誤差
測(cè)量點(diǎn)錯(cuò)位問(wèn)題
使用傳統(tǒng)三角測(cè)距法時(shí)，隨著高度不同，測(cè)量位置或光斑大小會(huì)發(fā)生改變。而光譜共焦傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測(cè)物存在傾斜或翹曲，也可進(jìn)行高精度的測(cè)量，測(cè)量點(diǎn)不會(huì)改變。
2、光譜共焦傳感器可穩(wěn)定測(cè)量任何材質(zhì)表面
3、光譜共焦傳感器*角度特性，zui大可測(cè)傾角87度
針對(duì)鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性
傳統(tǒng)三角測(cè)距法，測(cè)量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測(cè)量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用光譜共焦傳感器，無(wú)需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測(cè)量。即使被測(cè)物在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測(cè)量造成過(guò)大影響。
4、光譜共焦傳感器可同時(shí)測(cè)量并輸出位移和厚度
透明件的平整度和厚度可同時(shí)測(cè)量
鏡面、透明、半透明體表面也可以有*角度特性傳統(tǒng)三角測(cè)距法，測(cè)量鏡面體時(shí)，對(duì)傳感器的安裝角度有苛刻的要求。在使用多頭測(cè)量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中，安裝時(shí)必須對(duì)各個(gè)傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。使用共焦位移傳感器，無(wú)需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測(cè)量。即使被測(cè)物在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測(cè)量造成過(guò)大影響。
