光譜共焦傳感器又名共焦傳感器,共聚焦傳感器,白光色散傳感器。光譜共焦位移傳感器是一種通過(guò)光學(xué)色散原理建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,利用光譜儀解碼光譜信息,從而獲得位置信息的裝置。
當(dāng)被測(cè)物處于測(cè)量范圍內(nèi)某一位置時(shí),只有某一波長(zhǎng)的光聚焦在被測(cè)面上,該波長(zhǎng)的光由于滿足共焦條件,可以從被測(cè)物表面反射回光纖耦合器并進(jìn)入光譜儀,而其他波長(zhǎng)的光在被測(cè)物面表面處于離焦?fàn)顟B(tài),反射回的光在光源處的分布遠(yuǎn)大于光纖纖芯直徑,所以大部分光線無(wú)法進(jìn)入光譜儀。通過(guò)光譜儀解碼得到光強(qiáng)大處的波長(zhǎng)值,從而測(cè)得目標(biāo)對(duì)應(yīng)的距離值。由于采用了光譜共焦傳感器,因此該方法具有良好的層析特性,提高了分辨力,并且對(duì)被測(cè)物特性和雜散光不敏感。
光譜共焦傳感器具有*的測(cè)量能力,可以穩(wěn)定的測(cè)量任何材質(zhì)(如,鏡面、玻璃、不銹鋼、白色陶瓷、高光金屬、基板等)無(wú)論什么表面均可在1μm內(nèi)穩(wěn)定測(cè)量。即使多種材質(zhì)存在,用同一安裝方式也可以穩(wěn)定測(cè)量。
光譜共焦傳感器具有*的角度特性,可測(cè)傾角87°
角度特性是指可測(cè)量樣品的大傾角。激光位移傳感器測(cè)量非平面時(shí),因回光產(chǎn)生相差無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量?jī)A斜或曲面,采用光譜共焦測(cè)量技術(shù)可以保證即使被測(cè)物存在過(guò)大傾角或曲面,也可以進(jìn)行高精度的形狀測(cè)量。針對(duì)漫反射表面光譜共焦位移傳感器測(cè)頭可以達(dá)到±87°,針對(duì)鏡面反射光譜共焦位移傳感器各種測(cè)頭基本都可以達(dá)到±20°以上。角度特性差會(huì)導(dǎo)致眾多異形位置無(wú)法正常測(cè)量。測(cè)量非平面表面,尤其針對(duì)3D玻璃輪廓、點(diǎn)膠膠水高度及高光金屬表面段差時(shí),必須使用光譜共焦傳感器。
鏡面、透明、半透明體表面也可以有*的角度特性,使用光譜共焦傳感器,無(wú)需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可以進(jìn)行高精度測(cè)量。即使被測(cè)物在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的跳動(dòng)也不會(huì)對(duì)測(cè)量造成過(guò)大的影響。光譜共焦傳感器可高精度測(cè)量透明體厚度,并可同時(shí)測(cè)量不同層面位置值。透明體上下表面均會(huì)有一個(gè)焦點(diǎn)存在,獲取上表面和下表面位置值,上下表面的位置差即是透明體的厚度值。